PhysikInstrumente P-726PIFOC高負(fù)載掃描器

一、Physik Instrumente企業(yè)介紹

      在過去的五年中，PI（Physik Instrumente）已發(fā)展成為納米定位技術(shù)的制造商。創(chuàng)業(yè)行為的關(guān)鍵要素和動(dòng)機(jī)始終保持不變：為客戶尋找優(yōu)良解決方案。

      PI以其產(chǎn)品而聞名，多年來一直是定位技術(shù)市場的企業(yè)。其中重要的基石是國際 PI 家族內(nèi)的團(tuán)隊(duì)精神，這種精神基于超越國界和功能限制的相互理解和支持。

PI 是一家健康成長的私營公司，在擁有 1000 多名員工，并且是一個(gè)靈活、垂直整合的組織，這使得 PI 能夠滿足創(chuàng)新定位技術(shù)領(lǐng)域的幾乎所有要求。PI 的首要任務(wù)是成為客戶可靠

且高素質(zhì)的合作伙伴。

二、Physik Instrumente主營產(chǎn)品

       PI納米定位壓電撓性平臺、PI微型舞臺、PI線性平臺、PI線性執(zhí)行器、PI旋轉(zhuǎn)臺、PIXY平臺、PI自動(dòng)化工程系統(tǒng)等產(chǎn)品

三、PI產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域

科學(xué)儀器、顯微鏡、硅光子學(xué)、半導(dǎo)體技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、機(jī)械工業(yè)、自動(dòng)化行業(yè)、材料研究行業(yè)

四、主要型號及技術(shù)數(shù)據(jù)

PI P-726PIFOC高負(fù)載物鏡掃描器介紹

       較大物鏡的高動(dòng)態(tài)定位和掃描

       諧振頻率1120赫茲；560赫茲，物鏡210克

       典型步進(jìn)和穩(wěn)定約為6毫秒

       行程100微米

       直接測量型電容式傳感器帶來線性度、穩(wěn)定性和控制動(dòng)態(tài)

       分辨率0.3納米

      零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)更好的聚焦穩(wěn)定性

       技術(shù)規(guī)格

       規(guī)格：P-726.1CD

       集成傳感器：      電容式/直接測量

       行程，閉環(huán)：     100          微米

       分辨率，閉環(huán)：   0.4          納米    典型值

       分辨率，開環(huán)：   0.3          納米    典型值

       線性誤差，閉環(huán)：0.02         %       典型值

       重復(fù)精度：         ±3           納米    典型值

       傾斜θX、θY：    ±5           微弧度  典型值

       X、Y向上的串?dāng)_：50          納米     典型值

PhysikInstrumente P-726PIFOC高負(fù)載掃描器